1.真空熱處理過程中無氧化、無脫碳并有除銹作用，工件的變形量小，不需要進行二次加工，從而可以有效地節(jié)約資源，減少成本，為精密工件提供了保障。

2.脫氣作用。在常壓下有些氣體會溶入到金屬的組織內(nèi)部，在真空狀態(tài)下會大大降低氣體的溶解度，使氣體從內(nèi)部向表面擴散，從而溢出金屬表面，達(dá)到脫氣的效果，使材料純凈度提高,提高了工件的抗疲勞度、塑性、韌性、耐腐蝕性等各種綜合性能。

3.有利于去除工件表面殘留油污，真空狀態(tài)下使其易分解揮發(fā)，減少對工件品質(zhì)的污染，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

4.真空狀態(tài)下被處理的工件無氫脆現(xiàn)象，防止鈦和難溶金屬出現(xiàn)表而脆化。

5.熱處理工件畸變小。由于在一個完全密閉的空間內(nèi)緩慢加熱，使?fàn)t體各處的溫度比較均勻化，工件內(nèi)外溫差?。徽婵諢崽幚砑訜嵋?般預(yù)熱1-2次，每次預(yù)熱都進行保溫一定的時間使其溫度充分均勻化，產(chǎn)生的熱應(yīng)力也比較小，因此不會因應(yīng)力作用而產(chǎn)生變形。

6.真空淬火工藝穩(wěn)定，工件的機械性能比較穩(wěn)定，重復(fù)性好，操作安全，自動化程度高，工作環(huán)境好、無污染、無公害。